雙晶衍射儀用一束X射線（通常用Ka1作為射線源）照射一個(gè)參考晶體的表面，使符合布拉格條件的某一波長(zhǎng)的X射線在很小角度范圍內(nèi)被反射，這樣便得到接近單色并受到偏振化的窄反射線，再用適當(dāng)?shù)墓怅@作為限制，就得到近乎準(zhǔn)值的X射線束。把此X射線作為第二晶體的入射線，第二晶體和計(jì)數(shù)管在衍射位置附近分別以Δθ 及Δ（2θ）角度擺動(dòng)，就形成通常的雙晶衍射儀醫(yī)`學(xué)教育網(wǎng)搜集整理。

在近完整晶體中，缺陷、畸變等體現(xiàn)在X射線譜中只有幾十弧秒，而半導(dǎo)體材料進(jìn)行外延生長(zhǎng)要求晶格失配要達(dá)到10-4或更小。這樣精細(xì)的要求使雙晶X射線衍射技術(shù)成為近代光電子材料及器件研制的必備測(cè)量?jī)x器，以雙晶衍射技術(shù)為基礎(chǔ)而發(fā)展起來(lái)的四晶及五晶衍射技術(shù)（亦稱為雙晶衍射），已成為近代X射線衍射技術(shù)取得突出成就的標(biāo)志。但雙晶衍射儀的第二晶體最好與第一晶體是同種晶體，否則會(huì)發(fā)生色散。所以在測(cè)量時(shí)，雙晶衍射儀的參考晶體要與被測(cè)晶體相同，這個(gè)要求使雙晶衍射儀的使用受到限制。